Каков Ellipsometer?
Эллипсометрия - оптический метод для того, чтобы измерить толщину и оптические свойства чрезвычайно тонких пленок, или слои, материала. Измеримые свойства - показатель преломления, или сколько света согнуто, и уровень поглощения света, названного <ими> коэффициент поглощения . ellipsometer - устройство, используемое, чтобы выполнить эти измерения.
Ellipsometers работают, сияя четкий источник света на материале и захватывая отражение. Современные ellipsometers используют лазеры, обычно Неоновые гелием лазеры, как источник. ellipsometer излучают, сначала проходит поляризатор так, чтобы только свету, ориентируемому в известном направлении, позволили пройти. Это тогда проходит устройство, названное компенсатором, который кратко поляризует луч света. Остающийся свет тогда выброшен от материала при исследовании.
анализ зависит от Закона Поводка; когда пучок света ударит материал, некоторые будут немедленно размышлять, и некоторые пройдут к противоположной стороне материала перед отражением. Измеряя различие между этими двумя размышлениями, толщина устройства может быть определена. Отраженный свет также претерпевает изменение в поляризации; это изменение используется, чтобы вычислить показатель преломления и коэффициент поглощения.
Для ellipsometer, чтобы работать должным образом, исследуемый материал должен удовлетворить определенные физические свойства. Образец должен быть составлен из небольшого количества четких слоев. Слои должны быть оптически гомогенными, иметь идентичную молекулярную структуру во всех направлениях, и отразить существенное количество света. Если какое-либо из этих требований будет нарушено, то стандартные процедуры не будут работать.
Ellipsometers - чрезвычайно чувствительные устройства, которые в состоянии измерить слои столь же тонкие как один атом. Они широко используются в производстве полупроводника, где последовательные слои материала химически выращены друг на друге.
Эллипсометрия является неразрушающим; на материал, измеряемый ellipsometer, не оказывает негативное влияние процесс. Из-за этой особенности увеличивается использование ellipsometers в биологических науках. Биологические материалы намного менее однородны чем произведенные материалы, и вообще не имеют физических свойств необходимыми для традиционной эллипсометрии. Новые методики, такие как использование многократного ellipsometers, устроенного под различными углами, были разработаны, чтобы работать с такими материалами.